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熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)

電子束照射試片表面後，亦會激發反射電子（也叫背向散射電子）。試片中平均原子序越. 高的區域，釋放出來的反射電子越多，因此利用反射電子影像來觀察表面平滑無明顯特.

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