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應用於桌上型掃描式電子顯微鏡之背向散射電子偵檢器研究與製作

相較於典型的多片扇形背向散射電子偵檢器，具有更好的原子序敏感度以及表面形貌對比。多片環形背向散射電子偵檢器考慮入射電子束與不同的試片傾斜角度，產生不同的背向 ...

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