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以兩階段濺鍍法沉積氧化鋅壓電薄膜

第一種為背蝕型之薄膜體聲波諧振器[25-30]，如圖1-2(a)所. 示，其製程方式為將三明治結構依序製作於基板上，接著利用乾. 式蝕刻或濕式蝕刻，於基板之背面蝕刻一空腔，形成 ...

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