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壓電薄膜系統與表面聲波元件之製作與量測 - 碩博士論文網

並分別以所製作之兩種壓電薄膜為基礎，設計一中心頻率約為MHz等級之表面聲波元件。在壓電薄膜之性質量測方面，本文藉由掃描式電子顯微鏡（SEM）觀察薄膜表面， ...

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