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缺陷例子
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讓缺陷無所遁形– 碳化矽元件的缺陷檢測技術 - 知勢
此外,在製造過程中產生的缺陷,如plasma etching就是很好的例子。由於溝槽型的碳化矽元件相較於平面型的碳化矽元件,擁有更低的導通阻抗,但是,蝕刻 ...
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