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線性馬達運動系統在巨觀及微觀區下之摩擦力分析及補償

關鍵字: 線性馬達;高精度;摩擦力;補償;微觀;linear motor;high precision;friction;compensation;micro scale ; 公開日期: 2003 ; 摘要: 本文研究如何精密控制一個受摩擦非 ...

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