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卡片式線性馬達

使用線性馬達，將搬送・接觸測量長度系統小型化・厚度：9mm、質量：130g（行程10mm時） ・最大推動推力：6N ・往復定位精度: ±5 μm ・接觸測量長度精度: ±10 μm

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