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光機電系統動力與控制 - 微奈米技術實驗室

... 精度可達到次微米以下，甚至達到奈米（此精度將受限於移動平檯的剛性以及作業環境的因素）之超高精度的範疇。 二、 原理：. 2.1線性馬達 線性馬達一詞中所指的“線性 ...

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