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線性馬達系統

在微米工程等級的應用以及晶圓設備中尤其重視絕對精度及. 潔淨室適用性。採用線性馬達高精度XY平台為最佳選擇。 ○ 行程200 mm x 200 mm， 亦可選購300 mm x 300 mm.

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