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棒狀線性馬達之設計與製作__臺灣博碩士論文知識加值系統

近年來，半導體與科技產業快速發展，為追求生產線製造的高速與高精度，永磁式線性馬達大量應用於半導體製程設備、自動化控制等各種領域。由於傳統線性驅動元件主要以 ...

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