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材料分析如何協助先進製程設備改善缺陷 - TechNews 科技新報

等），在重複的製作過程中，其真空腔體及內部零件也同時在經歷蝕刻（或鍍膜），而累積一段時間後，將會導致腔體汙染，或生成副產物掉落至晶片上影響良 ...

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