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高功率脈衝磁控濺鍍含鈦金屬類鑽碳膜之性質研究

... 機械性質則使用維克氏硬度計、奈米壓痕儀、磨耗試驗機與高溫磨耗試驗機進行量測；結果顯示奈米壓痕試驗得到a-C:Ti試片硬度為8-15GPa之間，此值高於Ti薄膜。

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