矽晶圓種類, 拋光晶圓 (PW:Polished Wafer), 熱處理晶圓 (AW:Annealed Wafer), 磊晶晶圓 (EW:Epitaxial Wafer). 直徑(mm), 200, 200. 300. 300. 結晶面方位, <100>.
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