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提升半導體業冷卻水塔用水之水質穩定度實例介紹

冷卻水塔補充水源有三種，分別為製程廢水回收水、自來水、純水之 ... 小，因TDS經驗式以0.6×導電度計算，所以導電度望小；因子B 水溫要望 ... 亦會解離成CO3.

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