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電子業水質要求等級

水阻值(Resistivity,at 250C. 超純水水質. 單位. 成分名稱/組成. 0.3. 0.5. 0.8. 1.0~1.2. 1.5~2.0 um. 設計參數(Design Rule Parametcrs). 64 M. 16 M. 4 M. 1 M. 256 K.

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