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CN107058979A - 一种防水耐电击穿涂层的制备方法

一种防水耐电击穿涂层的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域，该方法中，将基材置于反应腔体内，连续抽真空，通入惰性气体或氮气；通入单体蒸汽开启等离子体放电 ...

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