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納米鍍膜劑使用方法
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主要薄膜光伏电池(非微晶硅、CIGS)技术及制备工艺介绍
图:平面型磁控溅射装置离子镀膜法将真空蒸发和溅射工艺相结合,利用溅射对衬底作清洁处理,用蒸发的方法镀膜,衬底置于阴极,它与蒸发源之间加数百伏以至 ...
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