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imec開發虛擬晶圓廠鞏固微影蝕刻製程的減碳策略 - 鉅亨
例如,排放氣體可能是有害空氣汙染物(HAPS),而光阻劑與抗反射鍍膜(ARC) 皆含有全氟與多氟烷基物質(PFAS) 。 這些物質的碳氟鍵結強度提供化學放大阻劑( ...
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