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CN101026203A - 半导体纳米结构及其制作方法 - Google Patents

一种半导体纳米结构,包括:一衬底作为半导体器件的承载体;一半导体缓冲层,通过外延生长技术形成在衬底上,起到缓冲衬底和其他层之间应力的作用;一半导体模板层, ...

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