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單晶矽熱敏阻型紅外線感測元件設計與製作之研究研究成果報告 ...

中文摘要：. 本研究主旨在利用<111>矽晶圓製作成熱型單晶矽紅外線微感測器，感. 測器的設計有矽浮板式與矽浮橋式微感測器兩種類型。感測元件包含感測.

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