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紅外線感測器專題
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整合積體電路的熱電式微感測器之研製(2/2)
度變化,獲得良好的實驗結果。故此電熱式微感測器可作為紅外線感測器和溫度感測器之用. 途。 關鍵字:CMOS,熱電式感測器,微機電系統。 Abstract.
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