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逼近物理极限的下一代EUV光刻机万事俱备？ - 硬件 - cnBeta ...

众所周知，光刻机的主要作用是将芯片电路图转移到硅片上，而光刻技术正是 ... NA是光学系统的数值孔径，表示光线的入射角度，使用更大的NA透镜可以 ...

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