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SiC，还有一段路要走！-电子头条

“同时，碳化硅芯片需要在整个设备中具有均匀的晶格。” 为了生产具有最高质量表面的均匀晶圆，应用材料公司开发了Mirra Durum CMP 系统，该系统将抛光、 ...

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