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高密度IC載板用步進式投影曝光裝置UX-5

產品特色; 主要用途; 商品Lineup. U 即使基板收縮仍維持重疊精確度針對每次的曝光區域，執行高精確度校正。此外，採用依據類型伸縮最大0.1％自動變焦的「自動測量功能 ...

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