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借力三大工具，精準量測樣品表面粗糙度 - TechNews 科技新報

白光干涉儀（WLI）是利用光學干涉的原理（圖三），在建設性干涉條紋的間距等於固定波程差，即可應用於計算高度，以形成表面高低起伏的立體3D 形貌（圖四） ...

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