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IC 縮小術！林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小 - 研之有物

光線通過透鏡系統聚焦成像示意圖，n 為介質折射率，θ 為鏡頭聚焦至成像面 ... 1.44 的水（對應波長為193 奈米的光），形同將波長等效縮小為134 奈米。

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