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多層膜厚度量測技術 - AOIEA 自動光學檢測設備聯盟

等效 導納概念亦可用於此（公式5），因此我們可以得到多層膜之反射率（公式6）。式中N 值為膜. 層的折射率(n)與消光係數(k)之組合，由於膜層之折射率與消光係數會隨著 ...

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