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第四代半導體氧化鎵
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Page 23 - 縱橫半導體檢測—TOF-SIMS扮演要角
碳化矽(SiC),第四代半導體的氧化鎵(Ga2O3),這些元件及製程的研發都非常仰賴高階的先進分析技術。 度分析,則包含觀察離子佈植分佈及深度的展阻分析儀(Spreading ...
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