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真空製程在透明氧化物薄膜的開發應用 - 台灣儀器科技研究中心

(1) 可見光穿透率> 85% (@ 400 nm–700 nm). (2) 電阻率< 100 μΩ·cm，ITO 約為100 μΩ·cm. (3) 表面粗糙度(rms) < 1.4 nm. 雖然ITO 的實用性高，但因有限的銦(In) 資.

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