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光學微影用之高穿透衰減式相位偏移光罩

... 穿透衰減式相位偏移光罩，其主要是採用(Al2O3)/(TiO2)[氧化鋁/二氧化鈦]多層膜當作高穿透衰減式相位偏移光罩之相位移層，利用其在波長193奈米波段下其穿透率19.9% ...

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