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場發射穿透式電子顯微鏡(TEM)

系統主要分四個部份：(1) TEM 主機, (2)電子能量損失譜儀(EELS), (3) 掃描穿透式電子顯微. 鏡(STEM), (4) X 射線能量散佈分析儀(EDS)。

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