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增加穿透式小角度x光散射之散射強度的裝置

穿透式 小角度X光散射(transmission small angle X-ray scattering,tSAXS)是以次奈米 ... tSAXS的基本量測原理，是以X光垂直入射於矽晶圓(或基板)上的光柵(或結構)，大 ...

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