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台積公司改裝無塵室外氣空調箱

... 無塵室中的外氣空調箱（Makeup Air Handling Unit, MAU）洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計，截至民國111年5月，共完成既有廠區266台外氣空調箱濕 ...

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