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化合物半導體碳化矽粉體材料技術探討 - 材料世界網

我國目前也具有碳化矽晶圓長晶產業，如中美晶、漢民、盛新、穩晟等。高純半絕緣SiC晶圓的長晶技術仍在發展中，主要原因之一為缺乏「高純度半絕緣碳化矽粉 ...

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