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大面積大氣電漿改善輪磨加工後碳化矽晶圓翹曲量的先期研究

再者，因應SiC晶圓尺寸的放大，具有高材料移除效率的輪磨製程逐漸成為 ... 的晶圓供應市場；而國內則有環球晶、穩晟、嘉晶、盛新等陸續投入SiC長晶。

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