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利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構 - NTHU PME Micro ...

在1960年代中期，利用半導體製程製造機械結構於矽晶片上的概念被提出後，吸引了 ... 的積體電路(Integrated Circuits, 以下簡稱IC)的概念，為半導體工業奠立了基礎。

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