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科磊台積電
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看準台積電大幅採用EUV,科磊推電子束圖案化晶圓缺陷檢測
美商半導體設備商科磊(KLA)近日宣布,推出革命性的eSL10 電子束圖案化晶圓缺陷檢測系統。 透過該項新的檢測系統,可以發現相關光學或其他電子束缺陷 ...
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