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台積電點名科磊合攻7um E-beam解決方案,與EUV一決高下

台積電 日前點名美商半導體設備大廠科磊(KLA-Tencor)為電子束(E-beam)技術上的設備合作伙伴之一，另外還有Mapper Lithography和IMS.未來在7奈米製程有機會 ...

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