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关于氮化铝单晶的湿法化学蚀刻的研究报告 - 电子工程专辑

此外，高热导率(340W/m·K)和高电阻率使AlN成为大功率器件的理想选择。AlN具有极性纤锌矿结构，由紧密间隔的六边形层组成，在沿c轴堆叠在一起的阳离子(Al3 ...

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