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磷爆炸
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磷化氫 - 政府研究資訊系統GRB
關鍵字:火災;爆炸;磷化氫. 本研究中磷化氫係為磷化銦化學氣相沈積反應器中所使用之原料,磷化銦生成於晶片上,亦生成於反應器中,所以定期以HCL氣體清洗反應器,而 ...
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