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藍寶石基底矽晶薄膜

但這種優質單晶品質的矽晶材料，僅存在於塊體單晶矽 (bulk silicon) 所製成的晶圓上，再磊晶生長的近乎零缺陷本質磊晶矽晶層 (intrinsic epitaxial silicon layer) 中 ...

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