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晶圓薄膜epi-Si 晶向

磊晶 應用: CMOS. P型晶圓. N型井區. P型井區. STI n+ n+. USG p+ p+. 金屬1, Al•Cu. BPSG. W. P型磊晶矽. 1. 更高純度(低O,C污染);2均勻改變載子濃度 ...

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