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Chapter 4 晶圓製造和磊晶成長 - Scribd

Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm 6. 為何要用矽? • 豐度高, 便宜• 二氧化矽非常穩定, 強介電質, 容易在熱氧化 ...

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