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磊晶矽晶
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半導體磊晶晶圓及固體攝影元件的製造方法 - Google Patents
若將此種化合物以團簇離子進行照射,則可藉由1次的照射而使碳及摻質元素這兩者同時在矽晶圓表面附近局部地固溶,並且亦可提高製造效率。 將採用上述第1步驟的技術意義與 ...
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