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磊晶矽晶
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磊晶(Epitoxy)
所謂的原料矽晶圓,一般來說是尚未經過製造程序的晶圓,經過像薄膜沉積(想像成長一層東西在晶圓上)、離子值入(用磷、硼等調整其電性)、曝光顯影、蝕刻等步驟(正常的 ...
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「磊晶矽晶」
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