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磊晶矽晶圓用途
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单元三:晶圆的制程与量测 - 百度文库
矽晶棒再經過研磨、拋光、切片,即成矽晶圓,如圖2 所示。 ... 大,通常用做非生產用途,稱為測試晶圓,測試晶圓通常送至美日等國再加工成再生晶圓。
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