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晶圓（Wafer）是指矽半導體積體電路製作所用的矽晶片

（1） 薄膜的沉積方法根據其用途的不同而不同，厚度通常小於1um 。有絕緣膜、半導體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜。薄膜的沉積法主要有利用化學反應的CVD(chemical vapor ...

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