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磊晶矽晶圓用途
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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊
12 吋矽晶圓長晶、切割、拋光至磊晶等一貫作業,然各項製程技術仍多掌握在日、 ... 化矽SiC)與切削油混合之切削劑作為冷卻用途,用以帶走切割過程產生的熱,.
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