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TW201413074A - 磊晶矽晶圓的製造方法以及 ... - Google Patents

磊晶矽晶圓 是在成為基板的矽晶圓的一面上噴附矽源氣體(silicon source gas)而使磊晶層成長所得的晶圓，其用於記憶體系元件、邏輯系元件、攝影元件等廣泛用途。

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