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米磊:国产光刻机,如何避免闭门造车式创新?_芯片- 导体
据估算,光刻机约占晶圆制造设备投资额的23%,再加上光刻工艺步骤中的光刻 ... 日本拥有全球最多的半导体工厂,但生产的一大半都是用途广泛的产品, ...
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